出展者詳細
| 小間番号 | J-50 |
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| 出展者名 | 中央精機株式会社
https://www.chuo.co.jp/contents/hp0560/list.php?CNo=560 |
| 住所 |
〒101-0063 東京都千代田区神田淡路町1-5 及川ビル |
| 担当部署 | 営業本部 営業部 |
| TEL | 03-3257-1911 |
| FAX | 03-3257-1915 |
| みどころ | －見えなかった表面が、見える世界へ－ 光干渉顕微鏡システムを出展します。 |
| 製品情報 |
光干渉顕微鏡システム「OptoNume®」を出展します。<特長＞ ・サブナノメートル領域の表面形状・膜厚測定が可能 ・表面性状・表面粗さの各種パラメータに対応 ・研究開発から量産現場まで一貫した評価を実現 ・検査結果の再現性と品質管理の安定化に貢献 ・実効高さ分解能 0.015 nm ・段差測定再現性σ: 8 nm（8 μm 標準段差片測定時） ・これまで捉えられなかった微細な高さを可視化 ・超平滑面（Sa: 0.050 μm級）や薄膜評価において高い信頼性実現
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