出展者詳細
| 小間番号 | S-67 |
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| 出展者名 | 株式会社昭和真空
https://www.showashinku.co.jp/ |
| 住所 |
〒252-0244 神奈川県相模原市中央区田名3062-10 |
| TEL | 090-3712-5606 |
| みどころ | 真空技術を応用した真空装置の開発・製造・販売を行っています。 |
| 動画 | |
| 製品情報 |
超高真空対応！R&Dに最適なロードロック式蒸着装置 SEC-10CT 
本装置は超高真空の環境下で、電子銃と抵抗加熱による蒸着が可能です。【特徴】 ・蒸着室/基板導入室/ボート導入室の3室構成で、 蒸着は常時真空のまま、基板や材料の入れ替えが可能。 ・Tiを真空槽内壁に成膜することによるゲッタ効果を利用し、 10E-6Pa台の超高真空領域まで排気が可能。 ・治具傾斜機構により、使用する蒸発源側へ治具を傾けて、 最適の角度で成膜可能。 【主な用途】 ・各種電子部品(高周波デバイス、量子ビット等)の電極膜成膜 |
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三種類の膜を両面に成膜可能! ロードロック式通過型スパッタ装置 SPH-2610Ⅱ 
本装置は各種電子部品への電極膜成膜を目的として開発したロードロック式スパッタ装置です。【特徴】 ・両面同時成膜によりハイタクトでの稼働が可能 ・ラック＆ピニオン方式によるトレイ搬送 ・トレイは10枚搭載可能で、1枚毎に条件設定可能なため、 研究開発用途にも最適。 ・高使用効率カソード使用で、 ターゲット使用効率を40%にすることも可能 ※通常は約20% 【用途】 ・各種電子部品(LDサブマウント、抵抗器等)への電極膜成膜 |
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本装置はΦ4インチもしくはΦ6インチウエハに対して収束させたイオンビームを照射することで、ウエハ表面の凹凸をσ＝1.0nm以下まで平坦化可能な装置です。【特徴】 ・ロードロックタイプでトリミング室を常時真空に保てる ・ダブルハンドでウエハの入れ替えを行なうため、 搬送待ちによる時間ロスが最小限 ・イオンソース用グリッドのラインナップあり (ハイレート用、高精度用、低コスト用など) 【用途】 ・圧電デバイスの周波数調整、ウエハ/膜の平坦化 |
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Φ8インチまで対応可能！ プラズマクリーニング装置 SPE-2136A 
本装置は各種電子部品へのプラズマクリーニングを目的として開発した装置です。【特徴】 ・C to C搬送で省人化 ・2枚同時処理可能(Φ4インチ、Φ6インチウエハ対象) ・イオナイザーによる静電対策も可能 ※オプション ・ダミーステージ搭載で、ダミーランができ、 安定したプラズマ処理が可能 【用途】 ・各種ウエハ電子部品のレジスト除去 ・後工程めっき前の表面改質 ・有機汚染除去 |
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複雑な形状の基板へ成膜可能！ プラズマALD装置 SPA-168T 
ALD法は従来のCVD、PVDに比べ、「ピンホールフリー」、「段差被覆性」、「膜厚制御性」に優れております。【特徴】 ・成膜可能材料：SiO2、TiO2、Al2O3 ・単原子層ずつ成膜するため、膜厚制御性に優れる ・高アスペクト比の基板に対しても付回り良く成膜可能 ・プラズマALD手法により低温成膜可能(RT～120℃) ・Φ8インチ基板24枚一括処理 ・治具の工夫でチップ形状の基板にも対応可能 【用途】 ・電子部品への絶縁膜、ガスバリア膜 |
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| SDGsへの貢献 |
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