出展者詳細

小間番号	M-14
出展者名	santec
住所	〒485-0802 愛知県小牧市大草年上坂5823
TEL	080-7188-9375
FAX	0568-79-1718
みどころ	超高感度の光学式三次元測定器・ウエハ厚分布測定器のデモを行います。
製品情報	ウエハ厚分布測定器「TMS-2000」 Si(高ドープ品も可能)SiC/GaN/サファイア/ガラス/LiNbO3/SOIなど様々な材料の厚さをサブナノメートルの精度で測定します。省スペース設計で卓上サイズに収めた筐体に高性能な波長可変光源を搭載し、超高速(30,000点/秒)かつ高密度に厚さ分布を測定します。直感的な操作の専用ソフトウェアはGBIRやESFQRなど平坦度解析のほか多彩な解析機能を搭載。設置には特別な温度制御や除振設備は必要ありません。またセンサ組み込みによるインライン検査のほか、搬送ロボットとの統合で自動化も可能です。
	光学三次元測定器「OPS-1000」 非接触、高速、高精度で三次元計測が可能です。本製品は高速波長可変レーザを用いたヘテロダイン検波方式を採用することで、世界最高レベル*の測定感度を実現し、測定物の表面状態、形状、材質、色を問わず計測が可能です。従来の光学式測定器では計測出来なかった鏡面、角度の付いた面、ガラス面においても、その高い測定感度により計測出来ます。 *製品化されている光学式3次元計測器における最小受光感度（当社調べ）

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