出展者詳細
| 小間番号 | M-03 |
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| 出展者名 | ソフトワークス株式会社
http://www.softworks.co.jp |
| 住所 |
〒103-0027 東京都中央区日本橋3-2-14 日本橋KNビル４階 |
| 担当部署 | 特機事業部 |
| TEL | 03-6214-1525 |
| FAX | 03-6214-1526 |
| info@softworks.co.jp | |
| みどころ | 本装置は色収差共焦点原理を用いた高精度の超高速センサーにより、最大 6,000 ライン/秒の測定速度で、 最大 100 万ポイント/秒（ＨＳタイプ）を超える測定が可能です。段差、異物、キズ、突起、膜厚などを大面積で短時間検査測定する事が可能になります。測定ワークも選ばず鏡面でも測定可能です、センサーの入射光と検出光は同じ経路をたどるためシャドーイングを無視出来るので複雑な形状でも正確に測定できます。卓上機から、全自動型インラインにも容易に対応致します。 |
| 製品情報 |
新製品 
本装置は色収差共焦点原理を用いた高精度の超高速センサーにより、最大 6,000 ライン/秒の測定速度で、最大 100 万ポイント/秒（ＨＳタイプ）を超える測定が可能です。段差、異物、キズ、突起、膜厚などを大面積で短時間検査測定する事が可能になります。測定ワークも選ばず鏡面でも測定可能です、センサーの入射光と検出光は同じ経路をたどるためシャドーイングを無視出来るので複雑な形状でも正確に測定できます。卓上機から、全自動型インラインにも容易に対応致します。 |
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新製品 
本装置は高速高解像度カメラと照明系を工夫して小型レンズの（スマホ含む）の外観検査を高速高精度で、行います。またレンズ単体とモジュールの双方の検査に対応します。異物や、傷、クラック等の検査も可能。 手動でサンプルを搭載し、検査は自動で行います。従来の顕微鏡目視測定に比べ、高精度ＣＭＯＳカメラにより 圧倒的な高精度、高再現性を短時間で実現いたします。またインラインにも容易に対応致します。
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本装置は弊社特殊光学系を用いて、電着工具のダイヤモンド砥粒の外形輪郭を撮像し、大きすぎる砥粒の検出を自動で行います。従来の目視や顕微鏡検査に比べ、大視野、超高精検査を短時間で可能にしております。。 高精度ＣＭＯＳカメラリンクラインカメラにより、今迄の画像処理システムでは実現できなかった複雑・高速・柔軟 なシステムの構築を簡単に実現できます。圧倒的な高精度、高再現性を実現いたします。 また卓上から全自動型インラインにも容易に対応致します。ワークサイズも柔軟に対応させていただきます。
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圧倒的な分解能を誇ります。今まで隠れていた微少な現象を測定致します。サイズは、わずかで奥行き幅、共に１５ｃｍの超小型ＡＦＭで、プローブ付きで宅配便の混載でも大丈夫です。 ＳＥＭや高倍率の３次元光学顕微鏡の変わりに使用できます。測定モードも標準で、多彩です。走査ヘッドは、高分解能、広 域タイプの２種類が選択でき、その交換も、瞬時に行えます。プローブの交換も数秒です、交換後の調整は必要有りません。 また、カーボンナノチューブプローブもオートアプローチが可能です。 |
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新製品 
本装置はウエハーを複数枚乗せる事が可能で、極微少なスクラッチ（傷）、異物、カケの外観検査を全自動で行います。ワークまでの距離を自動で測るレーザー変位計を装備しておりウエハーの厚みに依存しません。 画像記録のほか任意のしきい値設定から欠陥に対してOK/NG 判別を、全自動で行います。 アプリケーションとして、透明体、半透明の SiC や GaN、GaAs、サファイア、シリコンなど、多彩に対応致します。
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| SDGsへの貢献 |
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