測定計測展

出展者詳細

小間番号 M-60
出展者名 株式会社フィジックステクノロジー
https://www.physix-tech.com/index.html
住所 〒272-0023
千葉県市川市南八幡4-2-5 いちかわ情報プラザ
担当部署 営業部
TEL 047-370-8600
E-mail inf0@physix-tech.com
みどころ ピコメートルの変位計測を展示します。
製品情報

最小分解能1ピコメートル レーザ干渉変位計PicoScale

SmarAct社のPicoScaleは、マイケルソン干渉原理を採用したレーザ干渉変位計です。非常にコンパクトなセンサヘッドに参照面を内蔵し、対象物からの反射光との干渉により、高精度な変位計測を行うことができます。

<特徴>
・最大5000mmのワーキングディスタンス
・10MHzのデータレート
・標準センサーヘッドサイズφ4 x 13mmと小型
・真空・超高真空・極低温など、様々な環境に対応可能
・ステージのヨーイング・ピッチング測定やディファレンシャル測定などへの応用も可能

超小型読取ヘッド 光学式インクリメンタル型エンコーダ

光学式インクリメンタル型エンコーダMETIRIOは、読取ヘッドの小型化と高分解能、高速対応を実現するために設計されています。
低消費電力で超高真空にも対応していますので、幅広いアプリケーションでの応用が可能です。

<特徴>
・超小型な読取ヘッドで高分解能、高速にも対応
・小型なので装置への組込みが容易
・OEM製品としての提供やカスタマイズも可能
・低消費電力で超高真空にも対応
・オプションとしてパラメータ設定が可能なソフトウエアも用意

オートコリメータ

MÖLLER-WEDEL OPTICAL社は、1864年にハンブルグ郊外で光学器械メーカとして創業以来、長年にわたり精密な光学測定機器の製造を手掛けており、その高い品質は世界的に認知されているメーカです。代表的製品であるELCOMATシリーズは、光電式2軸オートコリメータで最大作動距離は25mを実現します。
独自の特許技術により世界最高水準の精度と分解能を有し、ドイツ物理工学研究所(PTB)をはじめ、世界中の研究機関に採用されています。